LCP-25 실험용 타원 계
소개
수동 타원 편광계는 소광 법을 사용하여 필름의 두께와 굴절률을 측정하고 테스트 프로세스의 편차와 편차 각도를 수동으로 조절합니다. Ellipsometry는 고체 기판의 유전체 박막 측정에 널리 사용됩니다. 필름의 두께를 측정하는 방법에서는 가장 얇고 높은 정밀도로 측정 할 수 있습니다.
명세서
| 기술 | 명세서 |
| 두께 측정 범위 | 1nm ~ 300nm |
| 입사각 범위 | 30º ~ 90º, 오류 ≤ 0.1º |
| 편광판 및 분석기 교차 각도 | 0º ~ 180º |
| 디스크 각도 스케일 | 스케일 당 2º |
| 최소 버니어의 읽기 | 0.05º |
| 광학 중심 높이 | 152mm |
| 작업대 직경 | Φ 50mm |
| 전체 치수 | 730x230x290mm |
| 무게 | 약 20kg |
부품 목록
| 기술 | 수량 |
| Ellipsometer 단위 | 1 |
| He-Ne 레이저 | 1 |
| 광전 증폭기 | 1 |
| 포토 셀 | 1 |
| 실리콘 기판상의 실리카 필름 | 1 |
| 분석 소프트웨어 CD | 1 |
| 사용 설명서 | 1 |
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